题目
更新时间:2025-02-08 22:53:21
求解答,词语工艺窗口是什么意思?再说说工艺窗口有什么含义?
答案

工艺窗口的百科含义

光刻工艺容限,也称光刻工艺窗口,指的是保证掩模图形能正确复制到硅片上的曝光剂量和离焦量范围,它包含三个方面的信息:成像精确度、曝光度和焦深。

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